【摘要】针对硅基绝缘栅双极型晶体管（IGBT）难以进一步满足电动汽车高功率密度、低导通损耗、高散热能力等需求的不足，综述了车用碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管（SiC-MOSFET）的最新研究进展。通过总结SiCMOSFET 在电动汽车牵引逆变器、DC/DC 电源变换器和车载充电机（OBC）应用场景下的特点，分析了目前车用SiCMOSFET在成本、可靠性及散热方面的技术挑战，并探讨了其在微型化、先进封装、多芯片集成和成本方面的发展趋势。
1 前言
为提升电能利用效率，电动汽车行业对更高功率密度、更小尺寸的功率半导体器件的需求日趋强烈。目前，功率半导体主要包括绝缘栅双极型晶体管（Insulated Gate Bipolar Transistor，IGBT）和金属氧化物半导体场效应晶体管（Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor，MOSFET）。
传统的功率半导体器件大多采用硅基材料，硅基IGBT 可承受更大的电压、更高的功率，广泛应用于新能源汽车的高压系统中，如主驱动电机的逆变器。硅基MOSFET因其高频特性好、开关速度快、成本较低，主要在汽车低压电器中使用，如电动座椅调节、电池电路保护、刷水器的直流电机、发光二极管（Light Emitting Diode，LED）照明系统等[1]。同时，硅基半导体固有的局限性（如开关损耗高、开关速度有限）导致硅基IGBT 的开关频率限制在20 kHz左右[2]。
随着半导体材料的快速发展，以碳化硅（SiC）和氮化镓（GaN）为代表的第三代功率半导体材料具有更高的热导率、较大的相对介电常数、更快的电子饱和漂移速度、更高的熔点和更高的莫氏硬度[3]，受到越来越多的关注。基于SiC 材料制造的碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管（SiC-Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor，SiC-MOSFET）相较于硅基功率半导体器件，具有更小的开关损耗、更高的开关速度、更小的尺寸、更高的击穿电压和更高的承受温度，可用于提高转换器和逆变器的效率、功率密度，节省车辆的空间。碳化硅半导体用于逆变器、DC/DC 电源变换器和车载充电机（On-Board Charger，OBC）时，较低的阻抗可以带来更小的损耗和部件尺寸[4-5]。
本文总结SiC-MOSFET 在电动汽车不同应用场景中的特点，分析车用SiC-MOSFET 技术面临的挑战，并结合车用SiC-MOSFET 技术的最新进展分析其未来发展趋势。
2 、SiC-MOSFET在电动汽车上的应用优势
SiC-MOSFET 作为功率半导体在电动汽车领域的主要应用场景如图1 所示，包括用于驱动电机的牵引逆变器、DC/DC 电源变换器，以及用于交流充电的OBC 及非车载充电设备，如直流快速充电站或无线充电[6]，并已在部分电动汽车上实现了应用[7-9]。
图1 SiC-MOSFET在电动汽车上的应用场景[6]
2.1 、SiC-MOSFET在牵引逆变器上的应用优势
相较于硅基半导体，SiC-MOSFET 因碳化硅材料具有更高的饱和电子漂移速度和更大的带隙，为更快的开关速度和更高的开关频率提供了可能。同时，较高的开关速度能够减小开关损耗，较小的接通电阻减少了SiC-MOSFET 的传导损耗，从而使SiC-MOSFET 获得更高的效率和功率密度。目前，SiC-MOSFET 的峰值效率达到98%以上，功率密度达到70 kW/L 以上[10-11]。Allca-Pekarovic 等[12]分别采用硅基IGBT 和SiC-MOSFET 作为电动汽车牵引逆变器的功率半导体，发现与硅基IGBT 逆变器相比，SiC-MOSFET 在一个驱动周期中可以减少39.8%的能量损失。
此外，由于具备更高的承受温度、更好的散热能力、更高的机械强度，采用SiC-MOSFET 的牵引逆变器的使用寿命可延长80%以上[13]。Su 等[14]发现，在车辆频繁起停的城市工况下，SiC-MOSFET逆变器较硅基逆变器具有能量损耗减少和可靠性提升的明显优势。较高的温度耐受性和更好的散热性能使SiC-MOSFET 逆变器可以在较高的环境温度下实现高功率密度工作，这为简化逆变器及车辆冷却系统，甚至使用风冷逆变器提供了可能[15]。
2.2、 SiC-MOSFET 在车载DC/DC 电源变换器中的应用优势
为确保车载DC/DC 电源变换器的最佳性能，须提供稳定的直流电压并响应负载的迅速变化。
SiC-MOSFET 应用于车载DC/DC 电源变换器时具有以下优势：更低的开关和传导损耗可以获得更高的效率和功率密度，更高的介电强度可以使其在更高的电压下工作，更大的工作温度范围可以提高其在不同工作温度下的稳定性。Kreutzer 等[16-17]开发了一种基于SiC-MOSFET 的高效车载DC/DC 电源变换器，其以15 kW的低功率工作时，功率转换效率达到98%，以100 kW 的高功率工作时效率达到99.7%，并能在800 V 高电压下正常工作。基于SiCMOSFET的车载DC/DC电源变换器的功率密度能够达到43 kW/L，远大于硅基功率半导体DC/DC 电源变换器的功率密度[18]。基于SiC-MOSFET 的DC/DC电源变换器的尺寸可以进一步缩小，从而增大车内可用空间[19]。
2.3 、SiC-MOSFET在OBC中的应用优势
OBC 是将动力电池与外部电源建立联系、进行电力传输的重要部件，目前，大多数纯电动汽车和插电式混合动力汽车都配备了OBC。
随着电动汽车对快速充电需求的不断增长，大功率、高效率和小体积成为OBC 的发展方向。使用SiC-MOSFET 作为OBC 的功率半导体器件，可以提高功率密度、充电效率和散热能力，并减小空间占用。Li等[20]提出一种采用SiC-MOSFET 的6.6 kW 电感-电感-电容器（LLC）的OBC，峰值效率超过96%，功率密度为3.42 kW/L。Gong 等[21]设计了一种基于SiC-MOSFET 的OBC，在输入240 V 交流电、输出400 V 直流电的工作条件下，峰值效率高达98.9%，总谐波失真小于2%。基于SiC-MOSFET 的OBC 的输出功率可达22 kW、峰值效率达到97%[22-23]。同时，相较于硅基OBC，采用SiC-MOSFET 可使OBC的体积减小24%、质量减轻28%，功率密度提高72%以上[24]。
3 、车用SiC-MOSFET技术面临的挑战
尽管SiC-MOSFET 性能优异，在电动汽车领域具有较高的应用价值，但与硅基IGBT 相比，仍存在一些技术挑战。
3.1、 成本问题
目前，SiC-MOSFET 的成本十分高昂[25]，SiCMOSFET 模块的价格是硅基IGBT 模块的3～5 倍[26]。SiC-MOSFET 在电动汽车上使用数量的增加，将导致整车成本上升、价格竞争力下降。值得注意的是，SiC-MOSFET 应用于电动汽车功率转换部件时，可以减少除功率半导体之外的零部件成本，如散热系统成本。
为了更好地评估引入SiC-MOSFET 导致的成本提高情况，建立相应的SiC-MOSFET 逆变器和转换器的成本模型。以电子元件分销商DigiKey 的价格作为参考[6]，对比硅基IGBT 和SiC-MOSFET 在汽车上应用的成本，逆变器的总成本如表1所示，逆变器与转换器的总成本如表2 所示，OBC 成本如表3 所示。综合来看，以SiC-MOSFET 作为电动汽车功率半导体的成本较使用硅基IGBT的成本高。未来，随着技术的进步及SiC 量产带来的成本下降，SiCMOSFET很有希望取代硅基IGBT。
表1 硅基IGBT和SiC-MOSFET单相逆变器成本[6] 美元
表2 硅基IGBT和SiC-MOSFET逆变器系统成本[6] 美元
表3 采用硅基IGBT和SiC-MOSFET的OBC成本[6] 美元
3.2 可靠性问题
功率半导体的可靠性通常是指在动态运行条件下出现的极端运行温度、器件老化和性能损坏等问题，与车辆安全密切相关。SiC-MOSFET受其材料特性和制造工艺影响，需进一步研究和验证可靠性。
3.2.1 栅氧问题
SiC-MOSFET 和硅基IGBT 都使用二氧化硅栅极氧化物，但SiC-MOSFET 较硅基半导体具有更高的栅氧缺陷。这主要是由于SiC-MOSFET 器件栅氧界面处的势垒高度较低，这使得沟道中的载流子更容易穿过势垒进入氧化层，影响栅氧化层的质量。另一方面，SiC 氧化过程中残留在界面处的碳元素会在SiC/SiO2的界面处形成较高的界面态密度[27]，进而影响SiC-MOSFET 器件的性能和可靠性[28]。界面处的电荷陷阱通过俘获电荷降低载流子密度，通过库伦散射降低载流子迁移率，影响SiC-MOSFET 的电流能力和跨导等特性；界面态电荷陷阱在器件开启和关断的过程中俘获和释放载流子，使SiCMOSFET 的阈值电压发生漂移[29]。栅氧化层和界面态电荷陷阱增大SiC-MOSFET 在高电场下的隧穿电流，增大漏电流、击穿栅氧介质导致器件失效。汽车上应用的SiC-MOSFET 由于栅极氧化问题，功率转换装置可能以振荡方式运行，导致逆变器失控，影响电机运行。
3.2.2 体二极管可靠性问题
SiC-MOSFET 体二极管的反向恢复时间短、恢复损耗小，具有很好的正向工作特性，在电路中可以用于吸收感性负载产生的电流，起到续流二极管的作用。但当电流持续通过时，SiC-MOSFET 体二极管的通态电压可能会随时间延长而变大，即出现“体二极管双极型退化”现象，这主要是由碳化硅衬底上存在的基晶面位错缺陷触发的。该退化导致开启状态下载流子传导差、关闭状态下漏电流大，使逆变器和DC/DC 电源变换器在低负载条件下运行不稳定[30]。
在体二极管工作时，电子与空穴的复合所释放出的能量导致堆垛层错在基晶面位错处蔓延，直至蔓延到芯片的表面，如图2所示[31-32]。
图2 堆垛层错蔓延示意[31]
图3 导通模式下电流密度对比[31]
3.2.3 短路问题
SiC-MOSFET 管芯面积小、电流密度大且抗短路能力较弱，因此对电路保护要求更高，特别是在大功率领域，这一问题更加突出[32]。这是由于碳化硅/氧化物界面陷阱密度比硅/氧化物高2个数量级，为了取得较高的阈值电压，碳化硅场效应晶体管的氧化层厚度往往较硅场效应晶体管的薄，这使得在高电应力的条件下，碳化硅场效应晶体管的氧化层更容易失效[33]。同时，由于同样功率等级条件下，碳化硅场效应晶体管的芯片面积较硅场效应晶体管的小，使碳化硅场效应晶体管承受了更高密度的电流应力，因而碳化硅场效应晶体管的短路抵御能力较硅场效应晶体管弱。
与硅基IGBT 的短路耐受时间10 μs 相比，SiC模块的短路耐受时间明显缩短，约为2 μs，这表明SiC-MOSFET 短路耐受性较弱。由于SiCMOSFET 具有沟槽结构，短路临界能量小于平面栅MOSFET，使SiC-MOSFET 比硅基MOSFET 对短路现象更敏感。此外，与模具面积96 mm2 左右的硅基MOSFET 相比，SiC-MOSFET 的模具面积只有5.52 mm2左右，导致具有更高的短路功率密度和更快的结温升高速度，可能导致击穿故障。当SiC-MOSFET 是逆变器和DC/DC 电源变换器的主要部件时，它们较弱的短路承受能力使得传动系统在车辆上坡和高速行驶等重载条件下更容易突然丧失动力。
3.3 散热问题
相较于硅基IGBT，SiC-MOSFET 的散热面积更小，相同的电流通过时电流密度更高，这会导致单位面积产生更多的热量，造成结温升高速度更快。因此，热管理成为制约SiC-MOSFET 应用的重要因素。
SiC-MOSFET 和硅基IGBT 的换热器的热阻由底板的导电热阻、传热面的对流热阻和扩散热阻组成。换热器的理论最小热阻（即热极限）可以通过换热面的性能极限和最佳底板厚度实现。随着散热面积的减小，换热器中的扩散热阻增大，如图4所示。SiC-MOSFET 模块的换热器由于散热面积较小，可能不满足所需的散热要求[37]。
图4 铜、铝换热器的热极限与有效面积比[37]
4 、车用SiC-MOSFET发展趋势
4.1、微型化
当前，每片SiC 晶圆的生产成本为1 500～1 800 美元[38]，单个SiC 使用晶圆的成本与其使用面积成正比，于是，制造商通过在单片晶圆上获得更多的MOSFET 来降低SiC-MOSFET 的生产成本。
此外，还可以通过微型化来提高SiCMOSFET 的良品率，进而降低成本。SiC-MOSFET的良品率与芯片面积的关系如图5 所示，良品率随芯片面积的增大呈显著下降趋势。而为了提高器件的通流能力，大电流规格下的器件常具有较大的芯片面积，对器件良品率造成影响[39]。因此，在保持大电流器件性能不变的前提下，应尽可能地设计小面积芯片（即微型化），以兼顾高性能和高良品率。
图5 产品良品率与芯片面积的关系[40]
4.2、 先进封装技术
先进封装技术能够改善SiC-MOSFET 的散热条件，减小寄生参数，提高功率模块的鲁棒性和可靠性[40]。SiC-MOSFET 的先进封装技术[41]主要包括：芯片顶部连接采用铜-铜（Cu-Cu）键合方式，通过对芯片顶部进行铜质金属化（基板表面也为铜），获得最佳的表面同质结合，改善连接寿命和芯片表面的散热状况；芯片底部连接依据底部金属化的不同，分别采用铜锡或镍锡混合焊料进行扩散焊，在结合面产生5 μm 以上的金属化合物层；系统连接采用焊接方式，通过调节焊料中锡、银、铜的比例和工艺过程，获得最佳的结合面弹性模量。
随着教学改革的深入和电子信息技术的发展，多媒体与网络技术尤其是慕课、微课[28]的快速出现，使得教学形式的选择更加多样化，为理想教学环境和教学模式改革提供了强大的物质支持。微课不仅是一种新型的教学资源[29-30]，更是基于某些知识点的简单但完整的教学过程。翻转课堂又称反转课堂，其可以理解为将传统的课堂教学方式“翻转”过来。学生可以在家或者寝室看视频以替代教师的课堂讲解;在课堂上，教师和学生则把精力集中在探讨学生自学有困难的内容上，并同时完成练习，还可以加强学生与教师和学伴的互动交流。这种课堂形式最大的优点在于学生对学习的安排和选择可以更加自主[31]。
近年来，基板的叠层构型出现了新趋势，嵌入式基板将芯片和基板都埋入某种载体中，芯片和嵌入基板均使用双面银烧结进行连接，由此实现双面散热。嵌入式基板、双面空冷散热的剖面构造如图6所示[42]。其中，顶部和底部嵌入基板与散热器的结合面均使用热界面材料，可改善导热并减缓机械应力。
图6 嵌入式基板、双面空冷散热的剖面构造[42]
4.3、多芯片集成
2018 年，三菱将肖特基势垒二极管（Schottky Barrier Diode，SBD）与SiC-MOSFET 集成到同一芯片，形成较低的碳化硅SBD 正向压降和较高的电流输出能力，可在一定电流范围内避免SiC-MOSFET寄生双极体二极管导通和双极退化问题，其结构如图7所示[43]。
图7 SBD外置及集成状态下的SiC-MOSFET结构
集成芯片较传统SiC-MOSFET 芯片面积有所增加，但相比SiC-MOSFET 外置SBD 的方案节约了SBD 芯片终端区和划片道区面积，可以布置更多芯片，从而具有更大的电流能力。三菱据此研制出6.5 kV SiC-MOSFET 芯片和对应的全碳化硅模块样品，相较于传统的6.5 kV 硅基IGBT 模块，大幅降低了导通损耗、关断损耗和开关损耗，总损耗降低至原来的1/10；与外置SBD 的SiCMOSFET 相比，导通损耗和开关损耗分别下降了18%和80%。
4.4 未来成本趋势
尽管SiC-MOSFET 模块的价格是硅基IGBT 模块价格的3～5 倍，但对于新能源汽车，采用SiCMOSFET 模块可以降低6%～10%的功率损耗，长时间尺度下节省的电池成本将超过采用SiCMOSFET 器件增加的成本。同时，考虑到800 V 高压平台在新能源汽车上的推广，SiC-MOSFET 模块的优势被进一步放大，使用SiC 可以助力电驱动系统升级，以适应电压等级从400 V 升级到800 V的变化。
未来，影响车载SiC-MOSFET 模块成本的因素包括材料成本、制造工艺、产业规模等。随着生产技术的不断进步和规模化生产的推进，SiC 材料的成本有望逐渐降低。制造技术的提升和工艺流程的优化将进一步提高生产效率，从而降低SiCMOSFET 模块的生产成本。纯电动汽车和混合动力汽车市场的不断扩大及智能汽车技术的快速发展，对SiC 功率半导体器件的需求将不断增加，产业规模有望扩大，进而促使成本降低。
5 、结束语
车用SiC-MOSFET 具有高效率、高功率密度、可简化冷却系统等独特优势，为车内紧凑的内部空间布局和电能的转换、利用提供了更多可能。相较于硅基IGBT，SiC-MOSFET 具有更高的工作频率和击穿电压，在高压（800 V）快速充电方面具有很高的应用价值。SiC-MOSFET 的应用为这些场景带来了更高的效率、功率密度和更小的尺寸、更轻的质量。与此同时，SiC-MOSFET 也面临成本高昂、可靠性有待提升和散热等问题。未来，SiCMOSFET 将进一步微型化以降低成本和提高可靠性，采用先进封装技术以改善散热和提高机械强度，通过多芯片集成进一步减小单个芯片的占用空间。同时，材料成本的下降、制造工艺的提升及产业规模的扩大，将为车用SiC-MOSFET 的发展提供更广阔的空间。
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