压力传感器系列包括MEMS压力传感器和陶瓷电容压力芯体传感器,可以支持绝压、差压和表压的压力测量。其中MEMS压力传感器主要采用高性能信号调理电路对MEMS传感单元进行温度和压力的校准和补偿,能将-100kPa到400kPa的压力信号转换为比例/绝对模拟或数字输出信号。陶瓷电容压力芯体可以覆盖0.5MPa到10MPa中压范围的密封表压测量。较宽的工作温度范围(-40℃~125℃)和超高的输出精度可广泛适用于汽车、工业、医疗以及家用电器等市场。

MEMS压力传感器
MEMS表压/绝压/差压压力传感器硅片芯体主要基于硅的压阻效应并采用先进的MEMS微加工工艺,能够实现宽温度范围下(-40℃~125℃)的微低压压力检测(-100kPa到400kPa),同时产品出厂的预校准能大幅简化客户系统设计,可广泛应用于汽车电子、工业控制、医疗电子、白色家电等市场。另外,增加了贵金属双焊盘结构和屏蔽层技术的贵金属版本也是燃油蒸气检测、汽车尾气处理等恶劣环境的理想方案。

陶瓷电容压力传感器敏感元件
陶瓷电容压力传感器具有抗腐蚀、抗冲击、高弹性等优异特性,可以和绝大多数介质直接接触,同时陶瓷极高的热稳定性使其工作温度范围可以达到-40℃~150℃,因此可广泛应用于汽车与工业过程控制等领域。陶瓷电容压力传感器工作过程中没有液体的传递,过程压力直接作用于陶瓷膜片,基座电极与膜片电极间的电容量变化与压力成比例关系。过载时,膜片触碰基座上而不会损坏,可有效替代扩散硅压力传感器,彻底解决了其低量程过载能力差的缺点。

压力传感器产品列表
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