今天这部分的主题是SiCMOSFET的可靠性评估,包括抗辐射能力和功率循环能力,
(1)抗辐射能力:
半导体器件在其整个生命周期中,都会受到核粒子辐射,
这种辐射,源自高能宇宙粒子撞击大气层外围,通过传播与核反应,在低海拔处形成核粒子雨。
尤其是航天器电力系统中的功率器件,对高能辐射粒子极其敏感,容易出现单粒子效应(Single-EventEffect,SEE),损坏器件。
单粒子效应(SEE)的种类有三,
1、单粒子翻转(Single-EventUpsets:SEU),指重粒子入射造成器件工作状态不稳定,
2、单粒子栅穿(SingleEventGateRupture:SEGR),指重粒子在靠近器件的栅极区域入射,因瞬态电场过高,造成栅氧损坏,
3、单粒子烧毁(Single-EventBurnout:SEB),指器件处于阻断状态时,重粒子入射至敏感区域(比如SiCMOSFET的JFET区),因电流过大或器件过热,造成永久性损坏。
一般来说,SEB的破坏性最强,一旦发生,便意味着器件失效。
当然,对于飞机飞行高度以下的器件应用,大气层会起到良好的屏蔽作用,

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如上,随着海拔高度的增加,中子通量指数增长,
因此考虑宇宙辐射导致的失效率时,必须考虑海拔高度。
顺便提一句,这里的中子通量,指单位时间内,通过单位面积的中子数量,
在功率器件中,这些中子会不断撞击器件内部的原子,可能引起器件损坏。
因此,通过检测中子通量,评估器件在不同环境(比如高海拔地区),可能受到的辐射损伤。
地面应用时,中子通量非常低,
很多功率器件应用要求,单一器件失效率位于1~100FIT,或者更低范围,
1FIT=在109(10亿)运行小时内,有1次失效,

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如上,ROHM第三代SiCMOSFET与普通SiIGBT在宇宙射线引起的中子辐射下的失效率对比,
横轴VDS,纵轴失效率,
想象一条垂直于纵轴、FIT=1的直线,分别经过绿色、黑色、红色三种器件,
对比很明显,欲达到FIT=1失效率,SiCMOSFET可施加超过1200V漏压,而两种IGBT只能施加800V及以下的漏压。
换言之,如果要求故障率低于一定水平(如10FIT),IGBT必须大幅降额使用。
为什么两种器件有如此显著的差异?
除了材料优势外,另一重要因素是相同额定电流芯片,SiC芯片的面积更小,因此被中子击中的概率更低。
(2)功率循环能力:
实际应用中,半导体器件需要进行频繁的开关操作,导致器件内部温度快速变化,这种由工作状态周期性变化引起的芯片内部温度的周期性变化,称为“功率循环”。
那么何为功率循环可靠性?
答:芯片内部温度变化会对器件的焊接点、键合线和封装材料产生应力,从而影响长期可靠性。
换言之,计算半导体器件在实际应用中的预期使用寿命时,必须考虑内部连接技术的老化。
相比Si材料,SiC材料的杨氏模量更高,温度循环期间,SiC器件会在焊接点产生更明显的塑性应变。
因此,SiC器件的功率循环能力往往比Si器件更低,需要更严格的测试评估可靠性。

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如上,SiCMOSFET功率循环典型失效模式,
最上面那张图,红圈圈中的是源极键合引线与SiC芯片交界处,第二张图是该处的放大示意图,第三张图标注了裂纹所在区域,
大概逻辑是:
源极键合引线与SiC芯片的顶部金属(通常是铝)通过焊接连接,键合线和SiC芯片的热膨胀系数不同,温度变化时两者膨胀和收缩的程度不一致,
这种不匹配会在焊接点产生剪切应力,功率循环的次数越多,应力作用越多,最终导致材料之间出现分离(裂纹)。
对SiC器件而言,焊接点退化是主要的失效模式。
SiC材料的高杨氏模量,使得焊接点在温度循环期间承受更大应力,导致焊接层的塑性应变及最终退化。
键合线退化在SiC器件中的影响相对较小,但在某些高电流密度和高频开关应用中,自感效应和趋肤效应会增加键合线的电阻,导致局部发热。
小结:
1、相同故障率要求下,IGBT必须大幅降额使用,而SiCMOSFET能以明显更高的漏压使用,表明后者具备更强的抗辐射能力。
2、SiC器件的功率循环能力往往比Si器件更低,焊接点退化是主要的失效模式。
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