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碳化硅功率模块封装材料、参数特性、对仿真的影响

2026-01-19 14:18:26

要详细解析碳化硅功率模块的封装材料、参数特性及对仿真的影响,需结合附件的封装结构(SiC芯片→焊料→Cu→Si₃N₄→Cu→焊料→Cu合金散热底板)和AMB/DBC基板特性展开:

1功率模块封装材料及参数特性

从附件的7层封装结构,逐一解析材料的基础参数、特性:

封装层级

材料

核心参数(典型值,附件因模糊需补充行业通用值)

材料特性

1.SiC芯片

SiCMOS

厚度:~0.75mm;密度:3210Kg/m³;热导率:~350W/(mK);比热容:~700J/(KgK)

宽禁带半导体,热导率远高于SiSi150W/(mK)),但厚度薄、热容量有限;需注意不同规格尺寸差异小(附件备注)。

2.芯片焊料

锡基合金(如SAC305

厚度:~0.1mm;密度:7300Kg/m³;热导率:~50W/(mK);比热容:~200J/(KgK)

连接芯片与Cu层的界面材料,热导率低、厚度薄,是封装中典型的“热阻瓶颈”之一;易出现热疲劳(界面分层)。

3.Cu

纯铜

厚度:~0.3mm;密度:8960Kg/m³;热导率:~401W/(mK);比热容:~385J/(KgK)

高导热、高导电的过渡层,用于快速扩散芯片热量;延展性好,但需匹配陶瓷基板的热膨胀系数(CTE)。

4.Si₃N₄

氮化硅陶瓷(AMB基板核心)

厚度:~0.32mm;密度:3100Kg/m³;热导率:~90W/(mK);比热容:~750J/(KgK)

AMB基板的陶瓷基底,热导率远高于DBC常用的Al₂O₃(仅20W/(mK));机械强度高、抗热震性好(附件中SiC模块以Si₃N₄为主)。

5.Cu

纯铜

同层级3

Si₃N₄陶瓷钎焊(AMB工艺),形成“Cu-Si₃N₄-Cu”AMB基板结构,增强基板的导热与载流能力。

6.AMB焊料

活性金属钎焊合金(如Ag-Cu-Ti

厚度:~0.05mm;密度:~8500Kg/m³;热导率:~150W/(mK);比热容:~250J/(KgK)

AMB工艺的核心连接层,通过活性元素(Ti/Zr)与Si₃N₄化学反应实现冶金结合,结合强度远高于DBC的共晶结合。

7.散热底板

Cu合金(如Cu-Mo-Cu

厚度:~5mm;密度:~8500Kg/m³;热导率:~200W/(mK);比热容:~400J/(KgK)

大体积散热结构,热容量大、用于最终热量导出;CTE需匹配AMB基板,避免热循环下的应力失效。

2材料参数对仿真的影响

功率模块仿真(热仿真、应力仿真、电仿真)的精度,高度依赖封装材料的参数,以下分维度解析:

1.对热仿真的影响

热仿真的核心是计算“温度分布、热阻、结温波动”,材料参数的影响如下:

  • 热导率(k

敏感点:焊料(k≈50)、Si₃N₄k≈90)是热阻的主要贡献者(热阻公式R=kSdd为厚度,S为面积);若将Si₃N₄替换为DBCAl₂O₃,热阻会翻倍,仿真中结温会显著升高。

  • 易错点:SiC芯片的k350)远高于Si,但厚度薄(0.75mm),若忽略其热阻会导致仿真误差;Cu层的高k401)可快速扩散热量,需准确设置以体现“热扩散”效果。


  • 厚度(d

    • 焊料、AMB焊料的厚度极薄(0.1mm/0.05mm),但热阻与厚度正相关,若仿真中简化为“无厚度界面”,会低估界面热阻、导致结温仿真值偏低。

      比热容(C

    • 影响瞬态热仿真的温度波动:散热底板的C大、热容量高,瞬态工况下温度上升更平缓;SiC芯片的C小,功率波动时结温会快速变化,若忽略会低估瞬态结温峰值。

      密度(ρ

    • 与比热容共同决定热容量(ρCVV为体积),影响瞬态热响应速度;例如Cu合金底板的ρC大,是“热缓冲”的核心,仿真中需准确设置以匹配实验的温度变化速率。

      2对应力/可靠性仿真的影响

功率模块的失效多源于“热循环下的热应力”,材料参数的影响集中在热膨胀系数(CTE)和弹性模量(E):

  • CTE匹配性

    • 材料CTE差异:SiC4.5ppm/K)、Si₃N₄3.2ppm/K)、Cu17ppm/K)、Cu合金(16ppm/K)的CTE差异大;AMB工艺中,Si₃N₄CTE更接近SiC,应力远小于DBCAl₂O₃CTE≈7ppm/K)。

      仿真影响:若CTE参数错误,会导致“界面剪切应力”计算偏差,例如Si₃N₄CuCTE差若被高估,会错误预测AMB基板的分层风险。


      弹性模量(E

    • Si₃N₄E~300GPa)远高于Cu~110GPa),是应力集中的核心区域;仿真中若E设置偏低,会低估Si₃N₄的开裂风险。

      焊料的塑性/蠕变特性

    • 芯片焊料是“塑性变形区”,仿真中需加入蠕变模型(而非仅弹性模型),否则会低估焊料的疲劳寿命(实际焊料在热循环下会因蠕变失效)。

      3.对电仿真的影响

电仿真关注“导通电阻、寄生电感”,材料参数的影响:

  • 电导率(σ

    • Cu的电导率(~5.96×10⁷S/m)是核心,AMB基板的Cu层厚度直接影响“载流能力”;若Cu层厚度设置过薄,会高估导通电阻、低估电流承载能力。

      寄生电感

    • 封装结构的几何尺寸(Cu层宽度、焊料长度)是关键,但材料的磁导率(μ)也有影响:Cu是非磁性材料(μ=μ₀),仿真中需准确设置以计算“回路电感”,避免功率器件的开关噪声预测偏差。

      3AMB基板vsDBC基板对仿真的差异化影响

结合AMB/DBC的特性,两种基板在仿真中的差异显著:

仿真维度

AMB基板(Si₃N₄

DBC基板(Al₂O₃

热仿真-结温

低(k≈90

高(k≈20

热仿真-热阻分布

热阻集中在焊料

热阻集中在陶瓷+焊料

应力仿真-界面应力

低(CTE匹配SiC

高(CTESiC差异大)

可靠性仿真-寿命

长(抗热循环能力强)

短(易分层)

成本仿真-物料成本

碳化硅模块以氮化硅(Si3N4AMB为主。

氮化铝:散热更好、材料脆(易裂)、出流略好。=SICMOS

氮化硅:硬度高、出流略差、散热略差=》可靠性更高=SICMOS

氧化铝/氧化锆:散热差、成本低、可靠性差=IGBT使用

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作者: 深圳市亿伟世科技有限公司
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碳化硅功率模块封装材料、参数特性、对仿真的影响
要详细解析碳化硅功率模块的封装材料、参数特性及对仿真的影响,需结合附件的封装结构(SiC芯片→焊料→Cu→Si₃N₄→Cu→焊料→Cu合金散热底板)和AMB/D
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